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应杏彩体育 长江学者特聘教授卢新培邀请，清华大学工程物理系蒲以康教授于6月5日到我校就等离子体刻蚀研究方面进行相关学术报告。报告会由卢新培教授主持，杏彩体育 潘垣院士、段献忠院长和胡希伟教授、刘明海教授等相关专业的教师及研究生到会进行交流。

蒲以康教授报告的题目为《复杂等离子体的简单模型》。蒲以康教授介绍了目前国内外低温等离子体的发展状况及其应用研究的发展水平，论述了研究等离子体的目的，“等离子体如此之复杂，为什么人们仍然兴趣盎然的研究它呢？主要是基于以下两点：其一就是等离子体可作应用工具，对其性能进行优化后具有非常独特的优点；其二便是因为研究人员的好奇心。”据介绍，等离子体非常复杂，特别是低温等离子体，相对于高温等离子体来说，低温等离子体发展较慢，应用也较分散，研究中首要的问题就是需要了解并清楚等离子体中的关键参数，如电子温度、电子密度、气体温度等与外部因素如电源电压、频率、气压等的关系。蒲以康教授在报告中简要地讲述了目前低温等离子体的基本知识，报告了本人最近的一些研究结果，并就等离子体光谱诊断提出了自己的见解。蒲以康教授还详细认真地回答了参与者提出的问题，特别与潘垣院士就低温等离子体的研究方法方面进行了深刻的讨论，使在座的年轻学子深受触动。

蒲以康，清华大学工程物理系教授，博士生导师，主要研究领域为等离子体不稳定性的理论和实验，等离子体诊断，等离子体与器壁相互作用和等离子体在环保上的应用。蒲以康于1988年9月于美国麻省理工学院物理系获得博士学位后，一直从事低温等离子体和材料相互作用方面的工作。1988年-1994年在美国Spire公司从事低温等离子体在工业上的应用工作，曾主持了美国能源部、空军及NASA的多项研究课题，参与了美国陆军和国家基金会的多个项目的研究。

1994年回国后，蒲以康曾任北京理工大学教授，从事等离仓体在环保技术上的应用研究工作和低温等离子体辅助材料生长和处理的研究工作。1999年调入清华电机系从事低温等离子体辅助材料生长和处理的研究工作，并入选校“百人计划”，2002年转入清华工物系。在高密度低温等离子体的诊断和活性粒子的调节和控制方面，蒲以康取得了一定的研究成果，曾多次在国际会议上作邀请报告汇报研究成果，并在国际学术组织中兼职。